特性：

1． 所有的离子源参数都连续的在一个大的LED屏幕上显示，帮助你监控离子源参数和你的工艺参数

2． 提供弹性的控制模式---手动,自动,远程控制，给你的工艺提供全方位的控制

3． 独立的显示和键盘来提供对离子源参数进行设置，设置和操作都很简单

描述：

这个电源为射频离子源和中和器提供电源，包括中和器射频和偏压，离子源偏压和控制模块，这个电源需要另外一个射频电源给射频离子源提供射频，他是专门为带射频中和器的射频离子源而设计的。

规格：

Kern PN：IBEAM-701

电源输出： 五个单独的电源分别提供给射频放电和射频中和器

离子束电源： 1500 伏直流, 600毫安

加速电源： 1000 伏直流, 50 毫安

射频电源： 离子源射频电源单独销售

中和器射频发生器： 100 瓦

中和器Keeper电源： 60 伏, 300 毫安

中和器发射电源： 120 伏, 1000 毫安

重量： 42 磅(18.9 公斤)

尺寸： 19英寸x7英寸x20英寸

(宽 x 高 x 深度)483mmx178mmx508mm