特性：

1．  所有的离子源参数都连续的在一个大的LED屏幕上显示，帮助你监控离子源参数和你的工艺参数

2．  提供弹性的控制模式---手动,自动,远程控制，给你的工艺提供全方位的控制

3．  独立的显示和键盘来提供对离子源参数进行设置，设置和操作都很简单

描述：

这个电源只提供射频中和器的偏压和射频，是标准的单独中和器电源，也是为单独工作的中和器设计的。

规格：

描述：I-Beam RFN Power Supply for stand alone RFN

Kern PN:I-BEAM-702

中和器射频发生器： 100 瓦

中和器Keeper电源： 60 伏, 300 毫安

中和器发射电源： 120 伏, 900 毫安

重量： 40 磅(18 公斤)

尺寸： 19英寸x7英寸x20英寸

       (宽 x 高 x 深度)483mmx178mmx508mm