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产品展示

3厘米直流离子源

 

 

 

特性:

1.    灯丝阴极

2.    灯丝中和或者等离子桥中和

3.    法兰或者内部固定

4.    不同离子束能量选择

5.    容易维护

应用:

1.  溅射镀膜

2.  刻蚀

3.  离子束辅助

4.  材料研发

描述:

   这是3厘米灯丝阴极直流离子源,它可以选择为法兰固定或者内部固定方式。标准离子源配有灯丝中和,但是也有等离子桥中和的选择。离子源没有有水冷。栅网可以根据不同的应用来选择。离子源需要一个电源,一个气体控制器。

型号:3厘米射频离子源

Kern PN:03DC05

Beam尺寸(栅网处):3厘米

离子束束流: 25----75毫安

离子束能量:  50----1200电子伏特

栅网材料:  石墨

离子束中和: 灯丝中和器或者PBN

冷却方式: 无水冷

电源: IBEAM-601或者IBEAM-602

重量: 2.5(1.1公斤)

 

 

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