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特性:
1. 射频起辉,没有灯丝
2. 多种Beam形状选则
3. 多种工艺气体选择
4. 不同离子束能量调整
5. 容易维护
应用:
1. 溅射镀膜
2. 刻蚀
3. 离子束辅助
4. 材料研发
描述:
这是6X22厘米射频离子源,它可以选择为法兰固定或者内部固定方式。离子源配有栅网,射频天线,放电室,导线,气体绝缘子。射频天线为水冷,离子源外罩崩没有水冷。栅网可以根据不同的应用来选择。离子源需要一个电源,一个气体控制器和一个射频中和器。
射频离子源是辅助或者溅射应用的理想选择,使用射频减少了维护成本,并且使使用反应气体成为可能。
型号:6X22厘米射频离子源
Kern PN:06X22RF
栅网材料: 钼或者石墨
离子束中和: 射频中和器
冷却方式: 水冷(射频天线)
电源: IBEAM-703
重量: 6 磅(2.7公斤)