特性：

1．    这个电源包括了Beam,Accelerator,Neutralier,RF电源

2．    所有的离子源参数都连续的在一个大的LED屏幕上显示，帮助你监控离子源参数和你的工艺参数

3．    提供弹性的控制模式---手动,自动,远程控制，给你的工艺提供全方位的控制

4．    独立的显示和键盘来提供对离子源参数进行设置，设置和操作都很简单

5．    高质量的并且巧妙的电子学设计使其更加稳定，可信，耐用

描述：

   这个电源为射频离子源和中和器提供电源，包括中和器射频和偏压，离子源偏压和控制模块以及离子源射频，这个电源有两个射频发生器，不用另外配置射频发生器，他是专门为带射频中和器的射频离子源而设计的。

规格：

型号：I-BEAM RFS/RFN 600mA/1500V Beam

Kern PN:I- Beam-703

电源输出： 6个单独的电源分别提供给射频放电和射频中和器

离子束电源： 1500 伏直流, 600毫安

加速电源：  1000 伏直流, 50 毫安

射频电源：  500瓦

中和器射频发生器： 100 瓦

中和器Keeper电源： 60 伏, 300 毫安

中和器发射电源： 120 伏, 900 毫安

重量： 51 磅(23.1 公斤)

尺寸： 19英寸x7英寸x20英寸

       (宽 x 高 x 深度)483mmx178mmx508mm