I-BEAM 602 FC/PBN Ion Beam Source Power Supply

(Filament Cathode/Plasma Bridge Neutralizer)

特性：

1．    所有的离子源参数都连续的在一个大的LED屏幕上显示，帮助你监控离子源参数和你的工艺参数

2．    提供弹性的控制模式---手动,自动,远程控制，给你的工艺提供全方位的控制

3．    独立的显示和键盘来提供对离子源参数进行设置，设置和操作都很简单

4．    高质量的并且巧妙的电子学设计使其更加稳定，可信，耐用

描述：

  这个是灯丝阴极/等离子桥中和器的直流离子源电源，是专门为3厘米，5厘米，8厘米，11厘米，13厘米和线性直流离子源而设计的。

规格：

Kern PN:IBEAM-602

电源输出： 五个单独的电源分别提供给灯丝阴极和等离子中和桥提供电源

离子束电源： 1500 伏直流, 500毫安

加速电源：  1000 伏直流, 50 毫安

Discharge电源： 80伏直流，6安培

阴极电源： 20安培, 700瓦

中和器电源： 灯丝---0.1----10安培灯丝

             Body---0.05---0.7安培

             Emission--- 0---1安培

重量： 35 磅(15.9公斤)

尺寸： 19英寸x7英寸x20英寸

       (宽 x 高 x 深度)483mmx178mmx508mm