特性：

1．    射频起辉，没有灯丝

2．    多种Beam形状选则

3．    多种工艺气体选择

4．    不同离子束能量调整

5．    容易维护

应用：

1．  溅射镀膜

2．  刻蚀

3．  离子束辅助

4．  材料研发

描述：

   这是6厘米射频离子源，它可以选择为法兰固定或者内部固定方式。离子源配有栅网，射频天线，放电室，导线，气体绝缘子。离子源外罩没有水冷。栅网可以根据不同的应用来选择。离子源需要一个电源，一个气体控制器和一个射频中和器。

   射频离子源是辅助或者溅射应用的理想选择，使用射频减少了维护成本，并且使使用反应气体成为可能。

规格：

型号：6厘米射频离子源

Kern PN:06RF

Beam尺寸（栅网处）：6厘米

离子束束流： 50----200毫安

离子束能量：  100----1500电子伏特

栅网材料：  钼或者石墨

离子束中和： 射频中和器

冷却方式： 水冷（射频天线）

电源： IBEAM-703

重量： 4磅 (2公斤)