![](/upload/image/20160826/20160826111612_17046.png)
![](/upload/image/20160826/20160826111640_39841.png)
特性:
1. 灯丝阴极
2. 灯丝中和或者等离子桥中和
3. 法兰或者内部固定
4. 不同离子束能量选择
5. 容易维护
应用:
1. 溅射镀膜
2. 刻蚀
3. 离子束辅助
4. 材料研发
描述:
这是13厘米灯丝阴极直流离子源,它可以选择为法兰固定或者内部固定方式。标准离子源配有灯丝中和,但是也有等离子桥中和的选择。离子源外罩具有水冷。栅网可以根据不同的应用来选择。离子源需要一个电源,一个气体控制器。
规格:
型号:13厘米射频离子源
Kern PN:13DC11
Beam尺寸(栅网处):13厘米
离子束束流: 100----500毫安
离子束能量: 100----1500电子伏特
栅网材料: 钼或者石墨
离子束中和: 灯丝中和器或者PBN
冷却方式: 水冷(离子源外罩)
电源: IBEAM-601或者IBEAM-602
重量: 17 磅(7.7公斤)