特性：

1．灯丝阴极

2．灯丝中和或者等离子桥中和

3．法兰或者内部固定

4．不同离子束能量选择

5．容易维护

应用：

1．溅射镀膜

2．刻蚀

3．离子束辅助

4．材料研发

描述：

这是13厘米灯丝阴极直流离子源，它可以选择为法兰固定或者内部固定方式。标准离子源配有灯丝中和，但是也有等离子桥中和的选择。离子源外罩具有水冷。栅网可以根据不同的应用来选择。离子源需要一个电源，一个气体控制器。

规格：

型号：13厘米射频离子源

Kern PN:13DC11

Beam尺寸（栅网处）：13厘米

离子束束流： 100----500毫安

离子束能量：100----1500电子伏特

栅网材料：钼或者石墨

离子束中和：灯丝中和器或者PBN

冷却方式：水冷（离子源外罩）

电源： IBEAM-601或者IBEAM-602

重量： 17 磅(7.7公斤)